Evaluation des procédés de PECVD atmosphérique pour le traitement de surface des composants pour l’énergie : faisabilité d’oxydes complexes denses

LIST (Luxembourg) et courts séjours au CEA Saclay (91)

Personnes à contacter par le candidat

Fabien ROUILLARD (fabien.rouillard@cea.fr )

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Les travaux qui seront réalisés dans le cadre de cette thèse ont pour objectif principal de synthétiser des oxydes complexes denses par AP-PECVD.
La démarche suivie sera de :

  • Montrer si les technologies AP-PEVCD peuvent être adaptées pour faire des dépôts de couches autres que TiO2/SiO2,
  • Etudier l’influence des paramètres expérimentaux du procédé sur les microstructures et les propriétés d’usage et en particulier le comportement dans un environnement oxydant à haute température.
  • Démontrer la transférabilité du procédé sur de grandes surfaces (quelques centaines de cm2).

Ce programme de recherche sera développé dans le cadre d’une collaboration internationale entre le Luxembourg Institute of Science et Technology (LIST) et plusieurs services et laboratoires du CEA